Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений
Abstract
About the Authors
К. ДемиховRussian Federation
А. Очков
Russian Federation
References
1. Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с
2. Демихов К.Е., Очков А.А. Метод расчета оптимальной откачной характеристики турбомолекулярного вакуумного насоса // Инженерный журнал: наука и инновации. 2012. № 7. Режим доступа: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/275.html (дата обращения 01.03.2015)
3. Демихов К.Е., Очков А.А. Программное обеспечение оптимизации основных параметров турбомолекулярных вакуумных насосов // Инженерный журнал: наука и инновации. 2013. № 5. Режим доступа: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/750.html (дата обращения 01.03.2015)
4. Демихов К.Е., Очков А.А. Математическая модель процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом в широком диапазоне давлений // Наука и Образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. Журн. 2014. № 12. С. 200-209. DOI: 10.7463/1214.0748304
5. Myoung-Keon Kwon, Young-Kyu Hwang. An Experimental Study on the Pumping Performance of Molecular Drag Pumps // Journal of Mechanical Science and Technology. 2006. Vol. 20, no. 9. P. 1483-1491. DOI: 10.1007/BF02915971
6. The Vacuum Technology Book. Volume II. Pfeiffer Vacuum GmbH, 2013
7. Hybrid Turbomolecular Pumps ATH Series. Adixen Alcatel GmbH, 2013
8. Pfeiffer Vacuum Catalogue. Pfeiffer Vacuum GmbH, April 2013
9. Audi M., Giors S., Gotta R. The state of the art in Molecular-Drag Turbo-pump Technology. Agilent Technologies Vacuum Products Division. Agilent Technologies GmbH, 2011
Review
For citations:
, . Machines and Plants: Design and Exploiting. 2015;(2):25-34.