maplantsМашины и установки: проектирование, разработка и эксплуатацияMachines and Plants: Design and Exploiting2412-592XМОО "Стратегия объединения"maplants-7Research ArticleМАШИНОВЕДЕНИЕMACHINE SCIENCEОценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давленийДемиховК. Е.noemail@neicon.ruОчковА. А.aochkov@bmstu.ruМГТУ им. Н.Э. БауманаRussian Federation201517062016022534Copyright © Демихов К.Е., Очков А.А., 20162016Демихов К.Е., Очков А.А.Демихов К.Е., Очков А.А.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.maplants-journal.ru/jour/article/view/7

В работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами ранее математической модели процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом произведена оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений. Разработана программа расчета оптимальных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса. Представлены результаты расчетов и выявленные в ходе исследований рекомендации. DOI: 10.7463/aplts.0215.0781957

математическая модельмолекулярный вакуумный насосбыстрота откачкипрограмма расчетаReferencesДемихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 сДемихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 сДемихов К.Е., Очков А.А. Метод расчета оптимальной откачной характеристики турбомолекулярного вакуумного насоса // Инженерный журнал: наука и инновации. 2012. № 7. Режим доступа: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/275.html (дата обращения 01.03.2015)Демихов К.Е., Очков А.А. Метод расчета оптимальной откачной характеристики турбомолекулярного вакуумного насоса // Инженерный журнал: наука и инновации. 2012. № 7. Режим доступа: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/275.html (дата обращения 01.03.2015)Демихов К.Е., Очков А.А. Программное обеспечение оптимизации основных параметров турбомолекулярных вакуумных насосов // Инженерный журнал: наука и инновации. 2013. № 5. Режим доступа: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/750.html (дата обращения 01.03.2015)Демихов К.Е., Очков А.А. Программное обеспечение оптимизации основных параметров турбомолекулярных вакуумных насосов // Инженерный журнал: наука и инновации. 2013. № 5. Режим доступа: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/750.html (дата обращения 01.03.2015)Демихов К.Е., Очков А.А. Математическая модель процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом в широком диапазоне давлений // Наука и Образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. Журн. 2014. № 12. С. 200-209. DOI: 10.7463/1214.0748304Демихов К.Е., Очков А.А. Математическая модель процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом в широком диапазоне давлений // Наука и Образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. Журн. 2014. № 12. С. 200-209. DOI: 10.7463/1214.0748304Myoung-Keon Kwon, Young-Kyu Hwang. An Experimental Study on the Pumping Performance of Molecular Drag Pumps // Journal of Mechanical Science and Technology. 2006. Vol. 20, no. 9. P. 1483-1491. DOI: 10.1007/BF02915971Myoung-Keon Kwon, Young-Kyu Hwang. An Experimental Study on the Pumping Performance of Molecular Drag Pumps // Journal of Mechanical Science and Technology. 2006. Vol. 20, no. 9. P. 1483-1491. DOI: 10.1007/BF02915971The Vacuum Technology Book. Volume II. Pfeiffer Vacuum GmbH, 2013The Vacuum Technology Book. Volume II. Pfeiffer Vacuum GmbH, 2013Hybrid Turbomolecular Pumps ATH Series. Adixen Alcatel GmbH, 2013Hybrid Turbomolecular Pumps ATH Series. Adixen Alcatel GmbH, 2013Pfeiffer Vacuum Catalogue. Pfeiffer Vacuum GmbH, April 2013Pfeiffer Vacuum Catalogue. Pfeiffer Vacuum GmbH, April 2013Audi M., Giors S., Gotta R. The state of the art in Molecular-Drag Turbo-pump Technology. Agilent Technologies Vacuum Products Division. Agilent Technologies GmbH, 2011Audi M., Giors S., Gotta R. The state of the art in Molecular-Drag Turbo-pump Technology. Agilent Technologies Vacuum Products Division. Agilent Technologies GmbH, 2011

The authors declare that there are no conflicts of interest present.