Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений

К. Е. Демихов; А. А. Очков

Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений

К. Е. Демихов, А. А. Очков

Аннотация

В работе проведен обзор современных дисковых молекулярных вакуумных насосов, представленных на рынке вакуумной техники. Изучен метод расчета быстроты откачки молекулярной ступени Twiss Torr, предложенный компанией Agilent Technologies. Отмечены его недостатки. С использованием разработанной авторами ранее математической модели процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом произведена оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений. Разработана программа расчета оптимальных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса. Представлены результаты расчетов и выявленные в ходе исследований рекомендации. DOI: 10.7463/aplts.0215.0781957

Ключевые слова

математическая модель, молекулярный вакуумный насос, быстрота откачки, программа расчета

Об авторах

К. Е. Демихов

МГТУ им. Н.Э. Баумана
Россия

А. А. Очков

МГТУ им. Н.Э. Баумана
Россия

Список литературы

1. Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с

2. Демихов К.Е., Очков А.А. Метод расчета оптимальной откачной характеристики турбомолекулярного вакуумного насоса // Инженерный журнал: наука и инновации. 2012. № 7. Режим доступа: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/275.html (дата обращения 01.03.2015)

3. Демихов К.Е., Очков А.А. Программное обеспечение оптимизации основных параметров турбомолекулярных вакуумных насосов // Инженерный журнал: наука и инновации. 2013. № 5. Режим доступа: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/750.html (дата обращения 01.03.2015)

4. Демихов К.Е., Очков А.А. Математическая модель процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом в широком диапазоне давлений // Наука и Образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. Журн. 2014. № 12. С. 200-209. DOI: 10.7463/1214.0748304

5. Myoung-Keon Kwon, Young-Kyu Hwang. An Experimental Study on the Pumping Performance of Molecular Drag Pumps // Journal of Mechanical Science and Technology. 2006. Vol. 20, no. 9. P. 1483-1491. DOI: 10.1007/BF02915971

6. The Vacuum Technology Book. Volume II. Pfeiffer Vacuum GmbH, 2013

7. Hybrid Turbomolecular Pumps ATH Series. Adixen Alcatel GmbH, 2013

8. Pfeiffer Vacuum Catalogue. Pfeiffer Vacuum GmbH, April 2013

9. Audi M., Giors S., Gotta R. The state of the art in Molecular-Drag Turbo-pump Technology. Agilent Technologies Vacuum Products Division. Agilent Technologies GmbH, 2011

Рецензия

Для цитирования:

Демихов К.Е., Очков А.А. Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений. Машины и установки: проектирование, разработка и эксплуатация. 2015;(2):25-34.

Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.

ISSN 2412-592X (Online)

Логин
Пароль
	Запомнить меня
Регистрация нового пользователя Забыли Ваш пароль?

Войти

Машины и установки: проектирование, разработка и эксплуатация